（原标题：多元化增长动能强盛 官方下载，中微公司薄膜开采新品层出）

中国上海，2024年5月28日——近日，中微半导体开采（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，股票代码：688012）推出自主研发的12英寸斯文宽比金属钨千里积开采Preforma Uniflex® HW以及12英寸原子层金属钨千里积开采Preforma Uniflex® AW。这是继Preforma Uniflex® CW之后，中微公司为千般器件芯片中超斯文宽等到复杂结构金属钨填充提供的高性价比、高性能的处治决策。中微公司深耕高端微不雅加工开采规模多年，合手续加码立异研发，这次多款新家具的推出是公司在半导体薄膜千里积开采规模的新冲突，也为公司业务多元化发展提供了强盛的增长动能。

中微公司自主研发的具备超斯文宽比填充技艺的12英寸Preforma Uniflex® HW开采，给与了前代Preforma Uniflex®CW开采的优点，可无邪成就多达五个双反映台的反映腔，每个反映腔齐能同期加工两片晶圆，在保证较低分娩资本的同期，已毕较高的分娩成果。Preforma Uniflex® HW接管领有饱和自主学问产权的助长梯度抵制工艺, 可已毕名义从钝化主导到刻蚀主导的精确工艺调控。硬件上，中微公司开发的可已毕钝化时辰从毫秒级到千秒级的法例系统，可满足多种复杂结构的填充。此外，搭配经过优化盘算的流场热场系统，使该开采具备优异的薄膜均一性和工艺休养无邪性。

中微公司12英寸斯文宽比金属钨千里积开采Preforma Uniflex® HW

这次中微公司还推出了自主研发的具备三维填充技艺的12英寸原子层金属钨千里积开采——Preforma Uniflex® AW。该开采给与了钨系列家具的性格，可成就五个双反映台反映腔，灵验提高开采分娩成果。此外，系统中每个反映腔均可用于形核和主体膜层助长，可把柄客户实质工艺需求优化成就，进一步提高分娩中的开采哄骗率。Preforma Uniflex® AW接管领有饱和自主学问产权的高速气体切换法例系统, 可精确法例工艺经过，已毕精确的原子级别助长，因此，所助长的膜层具备优异的台阶消亡率和低杂质浓度的优点。Preforma Uniflex® AW 还引入特有的气体运送系统，进一步升迁性能，使该开采具备更先进工夫节点的延展技艺。该开采也给与了中微公司自主开发的流场热场优化盘算，从而升迁薄膜均一性和工艺休养无邪性。

中微公司12英寸原子层金属钨千里积开采Preforma Uniflex® AW

中微公司董事、集团副总裁、CVD家具部及全球工程部总司理陶珩默示：“咱们很舒心不错为全球首先的逻辑和存储芯片制造商提供行业首先的薄膜开采，这两款开采优异的台阶消亡率和低电阻性格，使其不错满足多种复杂和三维结构的金属钨填充需求。跟着半导体工夫的连接卓越，原子层千里积工夫因其超卓的三维消亡技艺和精确的薄膜厚度法例而日益受到爱好，瞻望改日将会有更庸俗的应用需求。中微公司推出的这两款新开采，进一步推论了中微公司薄膜开采家具线，不仅展示了咱们在原子层千里积规模的先进工夫水平，也解说了咱们领有广漠的家具开发和应用开发技艺，鲜艳着咱们在半导体规模中扩张了全新的工艺应用，这将为咱们公司的合手续增长和历久发展提供广泛的空间。“

探索握住，立异不啻。一直以来，中微公司合手续践行“四个十大”的企业文化，将家具开发的十大原则历久连结于家具开发、盘算和制造的全经过，研发团队秉合手为达到开采高性能和客户严格条件而开发的理念，坚合手工夫立异、开采互异化和学问产权保护。自2004年开采以来，中微公司奋勉于于开发和提供具有外洋竞争力的微不雅加工的高端开采，现已发展成为国内高端微不雅加工开采的领军企业之一。改日，公司将连续对准寰宇科技前沿，坚合手三维发展计谋，打造更多具有外洋竞争力的工夫立异与互异化家具，为客户和商场提供性能优胜、高分娩成果和高性价比的开采处治决策。

对于中微半导体开采（上海）股份有限公司

中微半导体开采（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012，英文简称：AMEC）奋勉于于为全球集成电路和LED芯片制造商提供首先的加工开采和工艺工夫处治决策。中微公司开发的等离子体刻蚀开采和化学薄膜开采是制造多样微不雅器件的重要开采，可加工微米级和纳米级的多样器件。这些微不雅器件是当代数码产业的基础，它们正在改造东说念主类的分娩花样和生涯花样。中微公司的等离子体刻蚀开采已被庸俗应用于外洋一线客户先进工艺的稠密刻蚀应用，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片分娩的MOCVD开采已在客户分娩线上插足量产，现在已在全球氮化镓基LED MOCVD开采商场占据上风地位。

本文开头：财经报说念网

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